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    行业动态

      扫描电子显微镜(SEM)实验【诺视奇电子显微镜】

      文章出处:网络 责任编辑:edit007 人气:发表时间:2019-11-19 08:53【

      实验中当样品盘被取下来以后,默认样品被装好。选中“固定样品盘”单选框,然后点击“观察演示过程”,观察固定样品盘的动画。如图21和图22所示:

      (1)打开操作软件。

      图32 激活样品导航窗口

      界面的右上角的功能显示框:帮组和关闭按钮:帮组可以打开帮助文件,关闭按钮功能就是关闭实验。

      鼠标点击菜单栏中“Beam”,在Beam的下拉菜单中选择“SEM Mode”。放大倍数低于3500时,扫描模式选择模式一,如图36所示:

      图29 观察电子束扫描成像

      焦距调节完成后调像散,按shift和鼠标右键,上下和左后拖,分别调x方向和Y方向的像散,调像散时,聚焦框可撤可不撤,如图38所示:

      鼠标左键点击软件控制界面上vacuum状态栏下的vent按钮,会出现一个对话框,提示,是不是要放气,点击“yes”,vent按钮变灰,将向样品室内注入气体,如图16所示

      图19 螺丝刀取下样品盘固定螺丝

      (1)软件系统开机。

      a .打开Microscope Control v5.2.2 build 2898软件控制界面。

      2装载样品

      a.选择模式。

      (7)将样品室抽真空。

      双击场景中Microscope Control v5.2.2 build 2898软件,打开软件大视图,软件界面主要由4个观察窗口(电子束观察窗口,离子束观察窗口,样品导航窗口和样品室观察窗口)和1个操作栏组成,如图25所示:

      图26avigation Montage窗体

      辅助功能介绍:

      成功进入实验场景窗体,实验场景的主窗体如图13所示:

      3观察样品

      b .选择扫描方式(以电子束扫描为例,做离子束扫描过程类似)

      点击快捷菜单中的“

      放气结束后,双击场景中的样品腔打开样品腔大视图,点击大视图中的“打开样品腔“按钮,将样品腔缓缓拉开。如图17所示:

      图35 用手动操作盘调节放大倍率

      a.打开蒙太奇扫描窗口。

      在快捷菜单栏中选择合适的电压和电流,做电子束扫描时一般会选用电压20kV,电流2.7nA。

      图25 Microscope Control v5.2.2 build 2898界面

      图34 用倍率选框选择合适的放大倍率

      a.将导航菜单中stigmator调为zero,按下shift键后,鼠标在电子束观察窗口右键左右拖,调节像散。点击自动调节亮度对比度的按钮,自动调节亮度对比度,如图37所示:

      (1)低倍率下调节电子像的亮度对比度和像散。

      a.设定选择样品时样品台的高度。

      c.激活电子像

      提示信息栏:显示实验过程中的仪器信息,实验内容信息,仪器功能按钮信息等相关信息,按F1键可以获得更多帮助信息。

      选择合适的参数(如3×3),把绿框拖到感兴趣的位置,点击start,电子像对应就是绿框位置的放大图。如图33所示:

      b.选择倍率后聚焦

      图30亮度对比度调整

      图36 选择扫描模式图

      鼠标点击软件控制界面的导航窗口,选择当前活动窗口,窗口下方的信息栏变亮。点击菜单栏中Scan,在下拉菜单中选择Pause选项,或者快捷菜单中的“

      实验仪器栏:存放实验所需的仪器,鼠标移动到仪器栏中的仪器上,实验提示栏会给出相应实验仪器的描述信息。

      (3)打开样品室。

      先点击自动聚焦,自动聚焦是一个比较接近焦距的图像;然后手动聚焦,点击聚焦框,电子像中出现聚焦框,点鼠标右键左右拖,把图像调清晰;

      装载样品完成以后,再次点击样品腔大视图中“关闭样品腔”按钮,样品腔缓缓关闭,如图23所示:

      点击菜单栏tools目录下的“Auto contrast brightness”选项或者点击快捷菜单栏中“

      图31 设置样品台的高度

      用蒙太奇找出的样品的的WD一般不是4mm,需要通过Link调整工作距离。点击快捷菜单栏中的“

      1开始实验

      鼠标点击倍率选框,选择合适的倍率,或者打开手动操作盘用手动操作盘中的“Magenification”旋钮调节样品放大的倍率。如图34和图35所示:

      图20 镊子取下样品盘

      d.改变放大倍率。

      (2)低倍下先初步将样品聚焦,调好亮度,对比度

      (3)保存电子束扫描照片。

      图 33 选择样品

      图22 螺丝刀固定样品盘固定螺丝

      图24 样品室抽真空图

      图21镊子放上样品盘

      (4)用蒙太奇扫描方法找到要观察的部位。

      (3)根据样品性质在菜单栏中选择合适的电流,电压。

      图14 Microscope Control v5.2.2 build 2898软件

      b.自动聚焦。

      b.按照本节(2)中描述的方法再次调节图像的焦距亮度和对比度。

      图13 SEM实验主场景

      鼠标点beam control菜单栏下的pump,开始抽气。抽气最开始时,要帮推样品室仓门,样品室开始抽真空。样品腔抽成真空以后,Microscope Control v5.2.2 build 2898软件控制界面中样品室观察窗口会显示样品台。如图24所示:

      (6)关闭样品室。

      4调试图像及照相

      图28 选择扫描方式图

      在快捷菜单放大倍率选框中,选定放大倍数;在倍率大于3500时,“SEM Mode”需要换成模式二。点击亮度对比度,自动调节亮度;

      点击菜单栏中Scan,在下拉菜单中选择Pause选项,或者快捷菜单中的“

      图23 关闭样品室大视图

      鼠标左键点击自动聚焦按钮“

      (2)向样品室内注入气体。

      a.调节亮度和对比度。

      (2)将样品放大至所需倍数,聚焦,调亮度,对比度,调像散,使图像完好。

      c.高倍率下调像散

      打开软件:Microscope Control v5.2.2 build 2898和HeliosexTGen Vacuum control两个控制软件如图14和图15所示:

      实验状态辅助栏:显示实验名称和实验内容信息(多个实验内容依次列出),当前实验内容显示为红色,其他实验内容为蓝色;可以通过单击实验内容进行实验内容之间的切换。切换至新的实验内容后,实验桌上的仪器会重新按照当前实验内容进行初始化。

      图27 导航窗口的样品图

      图17 样品室大视图

      图15 HeliosexTGen Vacuum control界面

      d.选择扫描模式。

      图38高倍率下调亮度对比度

      实验操作方法:

      c.选择样品位置。

      在样品腔的大视图中,鼠标移动到样品台上,样品台颜色高亮显示,双击打开样品台大视图。选中“卸载样品盘”单选框,然后点击“观察演示过程”,观察卸载样品盘的动画。如图19和图20所示:

      (4)取下样品盘。

      (5)固定样品盘。

      待样品室抽成真空后,点击菜单栏中的“Beam”按钮,在下拉菜单中选择“Electron Beam”。在操作栏中点击Column菜单下面的“Beam On”按钮,待扫描结束以后,“Beam On”按钮会变成黄色。如图28所示:

      图16 样品室中注入气体

      样品腔打开以后,按钮显示为“关闭样品腔”再次点击样品腔会缓缓关闭。如图18所示:

      图37 调节亮度对比度和像散

      图18样品腔打开视图

      把像的亮度,聚焦,像散调到合适情况时,按F2或鼠标按菜单栏中按钮

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